Ein Dampfbefeuchter erhitzt Wasser bis zum Siedepunkt, wodurch steriler Dampf entsteht. Dieser Typ ist ideal, um Bakterien und Allergene aus dem Wasser zu entfernen, und eignet sich daher für Allergiker und Familien mit kleinen Kindern. Dampfluftbefeuchter sind in der Regel mit Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie z. B. einer automatischen Abschaltung, wenn der Tank leer ist.